Цена: 850 ₽
Издательство: Машиностроение
Год издания: 1986
Книга представляет собой введение в область фотолитографии, охватывая теоретические основы и практические аспекты технологии. Рассматриваются принципы работы фотолитографического оборудования, материалы и процессы, используемые в производстве. Особое внимание уделяется вопросам светочувствительности, фоторезистов и их применению. Издание предназначено для специалистов, студентов и всех, кто интересуется полиграфическими технологиями.