Цена: 900 ₽
Издательство: Радио и связь
Год издания: 1983
Учебное пособие для студентов высших технических учебных заведений. Рассматриваются основные вопросы технологии и конструирования интегральных микросхем. Описаны процессы изготовления полупроводниковых приборов, фотолитографии, травления, диффузии, ионной имплантации, напыления пленок, а также методы получения и исследования эпитаксиальных слоев. Особое внимание уделено технологическим процессам изготовления тонкопленочных и толстопленочных гибридных интегральных микросхем.
#технология #электроника #микросхемы #радиотехника #Интегральные схемы #Конструирование