Цена: 1 550 ₽
Издательство: Радио и связь
Год издания: 1991
ISBN: 5-256-00699-1
Справочник содержит сведения по технологии получения, очистки и легирования монокристаллических полупроводников, а также по физико-химическим методам их исследования. Рассмотрены основные методы обработки в кристаллах и пленках, физико-химические основы процессов диффузии и легирования, а также методы получения и исследования полупроводниковых материалов. Особое внимание уделено вопросам контроля качества и надежности при изготовлении микроэлектронных устройств. Книга предназначена для инженеров и научных работников, занимающихся производством микроэлектронной аппаратуры.
#справочник #технология #Физика #Полупроводники #Микроэлектроника