Цена: 800 ₽
Издательство: Высшая школа
Год издания: 1971
Книга посвящена устройству и наладке оборудования, используемого в производстве полупроводниковых приборов. Рассматриваются различные типы оборудования, их принцип действия и особенности эксплуатации. Издание предназначено для специалистов, работающих в области производства полупроводниковых приборов, а также для студентов соответствующих специальностей.