Цена: 1 250 ₽
Издательство: Советское радио
Год издания: 1974
Книга посвящена вопросам фотолитографии и оптики. Рассматриваются теоретические основы и практические аспекты применения фотолитографических методов в производстве. Особое внимание уделяется оптическим системам, используемым в микроэлектронике. Приведены описания различных типов фотошаблонов, их изготовление и контроль. Рассмотрены вопросы метрологии и контроля качества фотошаблонов. Книга предназначена для инженеров, техников и научных работников, занимающихся разработкой и производством микроэлектронных приборов.