Цена: 1 250 ₽
Издательство: Мир
Год издания: 1981
Книга посвящена физическим основам микротехнологии, охватывая широкий спектр тем, связанных с созданием и обработкой микроструктур. Рассматриваются различные методы литографии, включая фотолитографию, рентгеновскую литографию, электронно-лучевую литографию и ионно-лучевую литографию. Особое внимание уделяется физическим принципам, лежащим в основе этих процессов, а также их применению в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Книга предназначена для специалистов, работающих в области микроэлектроники, а также для студентов и аспирантов, интересующихся данной тематикой.